【별지 12호 서식】

규 격 서 Commodity Description
관세분류번호 (H.S.K NO.)	품목번호 (Item No.)	품명 및 규격 (Description of Commodity)	단위 (Unit)	수량 (Q'ty)
23990398		PEALD PE Shower Head System	set	1
A. Feature 다양한 화합물을 원자단위로 증착 가능하며, Thin Film 두께 제어가 가능한 Plasma 및 Theraml 기반 원자층 증착 장비 시스템 내 공정 기술을 활용하기 위한 Shower Head 및 RF Power Supply 구성 B. Specification Uniformity Shower Head ** ALD Chamber 내 상부 적용 가능 Concept 설게 필요 ** PE Module 구성 ** 사용 Gas 및 Precursor 가 균일하게 내부 Shower Head 구성 필요 RF Power Supply ** 600W 급 RF Power Supply ** 13.56Mhz Matching Box C. System Configuration - 해당 Shower Head 및 Power 구성은 PEALD 설비를 위한 구성으로 기타 Pump, Power, Shower Head, Gas Supply 등과 함께 호환 및 제어가 가능하도록 설치 필요 - 입찰 사양 담당자의 확인 必 D. Accessories - 해당 없음 E. Remark 1. 제조사 및 공급사에 의한 1년간 품질 보증 2. 납품 기한 5개월 이내

2023년 6월 1일