【별지 12호 서식】

규 격 서 Commodity Description
관세분류번호 (H.S.K NO.)	품목번호 (Item No.)	품명 및 규격 (Description of Commodity)	단위 (Unit)	수량 (Q'ty)
23990398		PEALD Gas Jungle Box 및 PLC 제어 System	set	1
A. Feature 다양한 화합물을 원자단위로 증착 가능하며, Thin Film 두께 제어가 가능한 Plasma 및 Theraml 기반 원자층 증착 장비 시스템 내 공정 기술 사용을 위한 Gas 및 Precursor 공급 장치 및 설비 제어/프로그램 구성 B. Specification Gas Jungle Box ** Precursor 공급을 위한 Canister 2ea 적용 ** Precursor 운반을 위한 Ar, O2 MFC (2ea) 적용 ** 공정 Chamber 에 공급을 위한EP 처리된 SUS Hard Line 구성 ** PEALD System 에 별도 Box 형태로 구성 제어/프로그램 구성 ** PLC Based Touch Panel 적용 ** PLC Card 및 I/O 적용 전장품 적용 ** Gas Jungle Box 내 Valve 뿐 아니라 전체 System Control을 위한 전장 구성 ** 전체 System Control 을 Touch Manual 로 조작 가능한 프로그램 구성 C. System Configuration - 해당 Gas Jungle Box 및 PEALD 제어를 위한 전장 구성 필요. 전체 설비에 부착 되어 있는 Valve, Pump, Power 등 모든 System 제어 필요 - 입찰 사양 담당자의 확인 必 D. Accessories - 해당 없음 E. Remark 1. 제조사 및 공급사에 의한 1년간 품질 보증 2. 납품 기한 5개월 이내

2023년 6월 1일